外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，外窗必须是双层密封窗。

内廊式：无尘车间设在外围，而走廊设在内部。这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和无尘车间同级。

两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。

核心式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为核心，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来。这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。